尺寸：800长×840宽×1800高

类型：加热燃烧喷淋水洗式

处理能力：500升/分钟，95%以上

排污方式：自然排+泵强排

喷淋室：加压喷射

水处理方式：泵循环+自来水

冷却方式：动力冷却循环水

处理原理：注入Gas和Air，通过电加热器(Heater)加热到700～800℃，形成氧化，处理Hydride系列气体(SiH4,PH2,AsH3等)，通过后端的Wet Scrubber处理水溶性气体

原理流程图

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