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清华大学微电子研究所 2011.06

发表时间：2013-06-04 15:29:14

      


气体种类：Ar、He、Cl2、SF6、NH3、C4F8、HCL、SiH4、PH3、N2O、CDA
工程内容：一次配管、VMB、特气柜、大宗气体管道焊接、安装及检漏