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FUJIKIN流量计T1000简介

FUJIKIN 气体质量流量计(MFC)

供应气体质量流量计,主要品牌有美国BROOKS,日本Fujikin。气体质量流量计具有:较高精度、快速响应、性价比高、零漂低等特点。不仅满足半导体、微电子、玻璃镀膜、太阳能电池等行业,还可以满足钢厂、电厂、石化等行业的要求。

规格:

量程:10SCCM-500 SCCM,1SLM-50SLM

阀门种类:常闭

流量控制范围:2%-100%F.S.

流量精度:±1%F.S.

流量输出信号:0-5VDC

响应速度: ≦1sec

最大压力:1Mpa

接口方式:1/4”VCR, 1/4”卡套


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