2019-10-29国家纳米科学中心 2012.06
气体种类：Ar、He、Cl2、SF6、O2、CF4、CHF3、NH3、C4F8、5%SiH4和95%Ar、GeH4、HBr、BCL3、 N2工程内容：特气柜、工艺气体管路、大宗气体管道焊接、安装及检漏...
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